當廢氣進入等離子體凈化光解機器設備,***先通過等離子體化學反應過程,即電子從電場能量,***個通過刺激或或原子電離能量轉移,獲得能量的或原子,同時一些電離,并成為活性基團;然后，這些反應基團與或原子碰撞，產生穩定的產物和熱。

　　然后將部分有機廢氣通過分解、分解和催化氧化，分解成無毒、無害、無味的氣體。高能c波段光用于裂解污染氣體的鏈，改變物質的結構，將***污染物裂解氧化成水、二氧化碳等低無害物質。O3強催化氧化劑用于尾氣的催化氧化，能有效殺滅細菌，將有毒有害物質損傷并為低無害物質。在C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，加強催化氧化。在分解過程中，產生高能、高臭氧的UV - UV光束，分解空氣中的氧，產生游離氧，即活性氧。由于游離氧攜帶的正負電子的不平衡，必須與氧結合才能產生臭氧。UV+O2 O-+O*(活性氧)O+O2 O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物有較強的氧化作用，對惡臭氣體和其他刺激性氣味有較強的清除作用。O3也是一種強催化氧化劑，用于尾氣催化氧化，裂解惡臭氣體中細菌的鍵，細菌的核酸(DNA)，然后通過臭氧氧化反應，完全脫臭殺菌。

　　低溫等離子體技術在外加電場的作用下，利用介質放電產生的***量載能電子轟擊污染物。***先，在等離子體產生的過程中，高頻放電產生的瞬時高能足以打開一些有害氣體的化學能，將其分解成簡單的原子或無害的。其次，等離子體中含有***量的高能電子、正離子和負離子、激發態粒子以及氧化性強的基。這些活性粒子與一些氣味碰撞結合，使氣味在電場作用下處于激發態。當氣味獲得的能量***于其鍵能的結合能時，氣味的化學鍵就會分解，直接分解成簡單的原子或由單個原子組成的無害氣體。同時，***量的·OH、·HO2、·O等活性基和高氧化性的O3會與有害氣體發生反應，***終生成無害的產物。它可以將復雜的***污染物為簡單的小安全物質或將有毒有害物質為無毒物質，使污染物得到降解和去除。