、有機廢氣處理、廢氣處理設備——紫外光解和等離子體技術是有機廢氣降解的兩種常用方法。兩種方法均可將廢氣中的有機成分分解為無害的水和二氧化碳，防止二次污染。但這兩種方法仍然有其***點和缺點。[工業廢氣處理方法說明]

　　紫外光解是一種能同時發射185nm和254nm紫外的***殊低壓紫外燈的雙光譜***性。管子發出的185nm紫外光觸發空氣中O2(氧氣)為O3(臭氧)。臭氧具有很強的氧化能力。與廢氣中的烴類(如苯、烴類、醇類、脂類等)充分混合后，在燈發出的254nm紫外光照射催化條件下，可直接氧化分解這些有害污染物為水和二氧化碳。因此，紫外燈發出的185nm紫外光起到了提供氧化反應物的作用。燈發出的254nm紫外線為光解反應的順利進行提供了必要的反應條件。但紫外線燈的臭氧生成能力較低，如果現在***常用150W U形成臭氧紫外線燈，在氧氣充足的條件下，每小時的臭氧生成控制在900mg左右，即其單位功率每小時的臭氧生成僅為6mg/w。臭氧作為光解反應中的主要反應物質之一，其含量直接影響到處理效果。

　　等離子體技術利用高壓電場電離空氣中的O2，產生O3。其臭氧生成效率遠高于紫外線燈。例如佛山俊瑞光電有限公司生產的60W石英真空等離子體管，每小時產生臭氧約6000mg，即每小時產生臭氧的單位功率為100mg/w，是紫外線倍。但是等離子體幾乎不發射紫外線。由于沒有紫外光的催化作用，僅采用等離子體工藝處理廢氣，臭氧與有機廢氣的反應變得緩慢而困難，這也制約了該設備的處理效率。

　　因此，我們嘗試將這兩種方法結合起來。等離子體裝置設置在光解裝置的前部。該離子裝置產生的O3與有機廢氣混合，并流經紫外燈。紫外線nm uv燈的催化作用下，O3與有機物的反應效率******提高，達到了理想的處理效果。由于等離子體裝置比紫外線燈臭氧生產效率高得多，使設備的功耗降低，節能效果顯著。常用的等離子體技術有兩種:非真空技術和真空技術。

　　非真空等離子體發生器主要為板式和蜂窩式，工作電壓要求較高，約為15000 ~ 18000伏，對系統***緣要求很高。而工作過程中產生的電弧較***，且直接于空氣中，當應用于含可燃氣體的廢氣處理工藝時，存在很***的火災隱患。

　　現有的真空等離子體管由軟玻璃制成，其***點如下:1。所需工作電壓******降低，約2-3 kv，******降低了系統的***緣要求，也降低了可燃氣體被高壓電火花點燃的可能性;2. 2. ***部分產生的電弧都被封閉在真空管中，這******降低了著火的可能性。但其缺點是軟玻璃在工作溫度變化較***的情況下容易產生裂紋，且管內真空度條件受到，無法繼續工作。其穩定性差、使用壽命短，了其在生產中的實際應用。

　　現在一些公司新開發的石英真空等離子體管、石英作為墻材料,除了擁有普通玻璃類型真空等離子體管的***點,因為石英管壁有很強的抵抗溫度變化而不是破碎性能,并使用不銹鋼金屬網,而不是原來的鋁網,使這種新型的等離子體管更能惡劣的工作,延長其使用壽命,確保